上海機電設備招標有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2018-09-30在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目購買一批工藝生產設備
資金到位或資金來源落實情況:資金已到位
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件
2、招標內容
招標項目編號:0613-184022153798/02
招標項目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產線項目設備采購第九批——I-line步進式光刻機
項目實施地點:中國浙江省
招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 包件1：晶圓表面顆粒檢測機 | 晶圓表面顆粒檢測機 1臺 | 1.可以檢測Bare_Si,Poly_Si,Oxide等介質的晶圓。 晶圓表面的缺陷，顆粒計數和異常微觀表面分類。 | |
| 2 | 包件2：I-line步進式光刻 | I-line步進式光刻 1臺 | 1.Resolution 0.4um L/S 2.Coma <=0.055um | |
| 3 | 包件3：干法去膠機 | 干法去膠機 1臺 | 1.Strip Rate:56000+/-3000A/min 2.Strip Rate Uni : <8% WPH>140P/H | |
| 4 | 包件4：加強等離子體介電層氣相沉積機與等離子體多晶硅刻蝕機 | 加強等離子體介電層氣相沉積機 1臺 等離子體多晶硅刻蝕機 1臺 | 實現片內高均勻性的介電層沉積 1.實現多晶硅刻蝕要求etch rate >1500A/min 2.主刻蝕比氧化層選擇比大于150:1 Chamber 與chamber 差異小于5%。 | |
| 5 | 包件5：晶圓自動光學檢測機 | 晶圓自動光學檢測機 1臺 | 1.IR function 2.可以抓取150um~400um厚度的晶元。 實現帶frame 和非frame 晶元的掃描。 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:投標人應具備的資格或業績：1）具有獨立的法人資格，相應的經營范圍。投標方應具有正規注冊的辦事處、維修站及零備件保稅庫。在中國境內應有專門負責的經驗豐富的維修工程師和專門的技術應用支持工程師。2）投標人提供的設備需要在業界有安裝使用的經驗
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2018-09-30
招標文件領購結束時間:2018-10-12
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點：上海市長壽路285號16樓
招標文件售價:￥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2018-10-23 09:30
投標文件送達地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓
開標地點:上海市長壽路285號恒達廣場22樓開標大廳
6、投標人在投標前需在中國國際招標網上完成注冊。評標結果將在中國國際招標網公示。
7、聯系方式
招標人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國浙江省紹興市越城區皋埠鎮臨江路518號
聯系人:蔡娟
聯系方式:+86-21-38610000
招標代理機構:上海機電設備招標有限公司
地址:上海市長壽路285號
聯系人:應秋祺 王鼎 潘永亮
聯系方式:86-21-32557721
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):